科学研究

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精密光学系统研究

研发重点

开展高精密光学系统的光学设计与仿真、光学元件制造、微纳制造工艺、光学检测与测量、光学装调与环境控制、新光源技术和光学相关算法的研究。

加速器物理与技术

研发重点

基于加速器的高功率光源，开展能量回收直线加速器(ERL)光源的物理设计与关键技术研发、全相干储存环光源的物理设计等研究。

微纳制造技术

研发重点

围绕微纳器件制造，开展计算光刻、自组装制造、三维增材制造、原子制造等新原理、新方法、新工艺、新器件研究。

先进半导体材料

研发重点

围绕光刻技术发展对先进光刻材料的需求，开展新型高性能材料、先进光刻工艺等研究。

精密测量技术

研发重点

面向晶圆级量检测需求，开发微纳器件量检测新技术和新设备，发展三维精细结构无损测量新方法，实现人工智能技术与先进设备的集成应用。

光电融合创新技术

研发重点

开展硅光芯片设计与制造、光电异质集成新材料新工艺新器件新原理、光电协同设计与三维集成、光计算/光互连/光交换应用探索等研究，推动集成光电子器件和系统功能扩展、性能升级。

后摩尔新材料、新器件与集成技术

研发重点

开展晶圆级三维集成工艺、先进封装技术、三维堆叠互联技术、芯片可测试性可靠性优化和芯片散热技术等领域研究工作。开展面向三维堆叠的存算融合、类脑计算、概率计算和面向人工智能的高并行计算等新型架构研究及电路设计。

新型半导体器件研究

研发重点

开展忆阻器、铁电存储器、负电容、低温CMOS等新型器件研究及电路设计。开发先进存储器件和二维半导体器件，发展先进集成芯片的薄膜和键合工艺。