科研平台

依托上海软X射线自由电子激光装置，建设专用光学材料测试线站，可开展光学元件损伤机理、材料筛选等关键技术研究，为国内相关领域材料与器件表征提供关键平台支撑。

建成微纳电子测试平台，可以实现器件、产品等不同类型的测试，同时具备极端条件的测试能力，可提供产品全生命周期的测试支撑。

建成专用材料研发平台，构建全面研发体系，涵盖从基础材料合成、高纯度材料制备、薄膜工艺探索、曝光验证等全方位能力。